利用稠相流体于一基板上形成有机薄膜之方法及装置

摘要

本发明系关于一种利用稠相流体于一基板上形成有机薄膜之方法及装置。本发明之方法包括：(a)提供一稠相流体及至少一功能性材料，其中该功能性材料系用以形成该有机薄膜；(b)混合该稠相流体及该功能性材料，以形成一混合物；及(c)释放该混合物至一低压环境中之基板，以形成有机薄膜于该基板上，其中于该释放过程中同时加热及／或旋转该基板。藉此，可改善该有机薄膜之膜厚与均匀度。本发明另外关于实现该方法之装置。