内部排气异质外延半导体晶圆及制造如此晶圆之方法

摘要

一种异质外延半导体晶圆，包括一形成该晶圆之前表面的异质外延层，该晶圆包括一种次要材料，其结晶结构不同于该晶圆主要材料之结晶结构。该异质外延层实质上实质上无缺陷。一表层包括主要材料且不含有次要材料。该表层毗邻于异质外延层。一块材层包括主要材料且不含有次要材料。该块材层毗邻于该表层，且延伸穿过平面。且揭示一种绝缘物上矽晶圆，以及一种制造晶圆的方法。