用于真空室中之基板的支持及升降装置

摘要

一种依据本发明之用于升降及支撑基板之销总成，其包括一滚子滑件，具有滚子来减小该销之垂直运动摩擦，一滚珠轴承底板，具有弹性悬置机构，以在一销运动循环周期后重新定心该底板，及一滚珠承载销头，可降低该销与基板之间的摩擦，使该基板可施加于该销上之横向力最小化。