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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100865581(B1) 申请公布日期 2008.10.28
申请号 KR20077008201 申请日期 2007.04.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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