| 摘要 |
本发明系提供一种图案形成方法及机能性膜,其形成机能性膜的图案时,可精度佳地形成线宽或形状等。在机能性膜形成之前,将设计图案分割为子区域,并配置第一液状体,以描绘该子区域的界线,再经过中间乾燥步骤,形成线状膜38b、38c、38d。接着,配置第二液状体以描绘子区域,形成第二液状体图案35a、35b、35c、35d,并经由本乾燥步骤,完成一体化机能性膜。 |
| 主权项 |
1.一种图案形成方法,其系使用液滴喷出法,在基板 上形成预定图案的机能性膜;其特征在于系具有以 下步骤: 子区域设定步骤,其系设定复数子区域,用以分割 前述机能性膜的设计图案; 第一描画步骤,其系配置第一液状体,以描画前述 子区域间的界线;及 第二描画步骤,其系在前述第一描画步骤后,配置 第二液状体,其系含有具作为前述机能性膜的主机 能之机能性材料,以描画前述复数子区域。 2.如请求项1之图案形成方法,其中具有中间乾燥步 骤,其系在前述第一描画步骤与前述第二描画步骤 之间,使配置于前述基板上之第一液状体乾燥,以 形成线状膜。 3.如请求项1或2之图案形成方法,其中前述第一液 状体系含有前述机能性材料。 4.如请求项1或2之图案形成方法,其中前述第一液 状体系含有前述树脂成分。 5.如请求项1或2之图案形成方法,其中在前述子区 域设定步骤中,系按大致固定宽度设定前述子区域 作为可限制形状的区域。 6.如请求项1或2之图案形成方法,其包含使前述机 能性膜的设计图案细长延伸的区域,并在前述子区 域设定步骤中,沿着前述所延伸区域的延伸方向, 设定前述子区域,以将该区域分断为特定长度以下 ;其中: 前述特定长度为:在一次配置有前述第二液状体时 所形成的液状体图案中,与大致等间隔出现的膨胀 部的该间隔相等,以描画与前述延伸区域相同宽度 的带状图案。 7.如请求项6之图案形成方法;其中: 具有虚设图案形成步骤,其在前述子区域设定步骤 之前,于虚设基板上配置前述第二液状体而形成虚 设图案,以描画与前述延伸区域相同宽度的带状图 案, 藉由按大致等间隔在前述虚设图案出现之膨胀部 的该间隔,限制前述特定长度。 8.如请求项1或2之图案形成方法,其中在形成前述 基板图案之面,系以包围对应前述机能性膜的设计 图案之区域的方式,进行有拨液处理或凸岸形成。 9.一种机能性膜,其系由预定图案所形成者;其特征 在于: 前述机能性膜的图案系由以下构件所构成: 线状部,其系由作为将该图案分割为复数子区域之 界线的图案所形成;及 主要部,其系被前述线状部隔开,且由相当于前述 子区域之图案所形成; 至少于前述主要部含有机能性材料,其系具有作为 前述机能性膜的主机能。 10.如请求项9之机能性膜,其中前述线状部系含有 前述机能性材料。 11.如请求项9或10之机能性膜,其中前述子区域系按 大致固定宽度形成可限制形状的区域。 图式简单说明: 图1系显示本实施形态之液滴喷出装置的概略构成 立体图。 图2系显示TFT用闸极配线一例的平面图。 图3系用以说明闸极配线之图案形成步骤的流程图 。 图4(a)系显示闸极配线的设计图案图;图4(b)系显示 虚设图案的设计图案图。 图5系显示闸极配线之设计图案的子区域分割一例 图。 图6系显示形成于基板上之第一液状体的部分图案 (线状膜)平面图。 图7系显示形成于基板上之第二液状体的部分图案 平面图。 图8系显示形成于虚设基板上之部分虚设图案的平 面图。 图9(a)、(b)系与本实施形态之比较例,其显示液状 体图案之以往例的剖面图。 图10系显示变形例1之闸极配线之设计图案的子区 域分割图。 图11系显示变形例2之闸极配线之设计图案的子区 域分割图。 图12系显示变形例3之闸极配线之设计图案的子区 域分割图。 图13系显示变形例4之电性配线之设计图案的子区 域分割图。 |
