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发明名称 Detektoranordnung und Detektionsverfahren
摘要
申请公布号 DE50212312(D1) 申请公布日期 2008.07.10
申请号 DE20025012312 申请日期 2002.11.15
申请人 CARL ZEISS NTS GMBH 发明人 KNIPPELMEYER, RAINER DR.
分类号 G01N23/225;H01J37/244;H01J37/28;H01J37/29 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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