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发明名称 Verpackung auf Waferebene für mikroelektromechanische Vorrichtungen
摘要
申请公布号 DE60321287(D1) 申请公布日期 2008.07.10
申请号 DE2003621287 申请日期 2003.10.15
申请人 INSTITUTE OF MICROELECTRONICS 发明人 NAGARAJAN, RANGANATHAN;PREMACHANDRAN, C. S.;CHEN, YU;KRIPESH, VAIDYANATHAN
分类号 B81B7/00 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
主权项
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