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发明名称 ELECTROSTATIC ADSORPTION ELECTRODE AND PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100845350(B1) 申请公布日期 2008.07.10
申请号 KR20080019071 申请日期 2008.02.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/68 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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