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发明名称
Verfahren zum Ausbilden von Polysiliziumgebieten
摘要
Ein Verfahren zum Ausbilden von Polysiliziumgebieten (109) beinhaltet eine thermische Behandlung in einer Wasserstoffatmosphäre nach dem Strukturieren einer Polysiliziumstruktur.
申请公布号
DE102007002423(A1)
申请公布日期
2008.07.10
申请号
DE200710002423
申请日期
2007.01.17
申请人
QIMONDA AG
发明人
BOUBEKEUR, HOCINE
分类号
H01L21/321;H01L21/8242
主分类号
H01L21/321
代理机构
代理人
主权项
地址
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