METHOD FOR DETERMINATION OF RESONANT FREQUENCIES OF A ROTOR USING MAGNETIC BEARINGS

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Ermittlung von Resonanzfrequenzen eines magnetgelagerten Rotors, insbesondere eines Rotors einer Turbomolekular-Vakuumpumpe. Während des Stillstandes des Rotors oder der Rotation des Rotors mit relativ geringer Drehfrequenz werden mechanische Schwingungen des Rotors durch Elektromagnete der Magnetlagerung generiert. Die Rotorschwingungen werden durch Rotorlage-Sensoren der Magnetlagerung detektiert. Aus den detektierten Rotorlage-Schwingungen werden die Resonanzfrequenzen des Rotors ermittelt.