摘要 |
1. Болометрический приемник излучения, содержащий многослойную чувствительную структуру, включающую слои жесткости, поглощающий, отражающий, защитный и термочувствительный слои, отличающийся тем, что он выполнен в виде совокупности диодов Шоттки, сформированных на основе кремния или германия.2. Приемник излучения по п.1, отличающийся тем, что термочувствительный слой сформирован на основе аморфного кремния или аморфного германия.3. Приемник излучения по п.1, отличающийся тем, что термочувствительный слой сформирован на основе поликристаллического кремния или поликристаллического германия.4. Приемник излучения по п.1, отличающийся тем, что термочувствительный слой сформирован на основе монокристаллического кремния или монокристаллического германия.5. Приемник излучения по п.1, отличающийся тем, что термочувствительный слой сформирован на основе твердых растворов кремний-германия. |