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发明名称
Vorrichtung und Verfahren zur ortsaufgelösten Vermessung von Wellenfrontdeformationen
摘要
申请公布号
DE19624421(B4)
申请公布日期
2008.07.10
申请号
DE19961024421
申请日期
1996.06.19
申请人
CARL ZEISS AG
发明人
FREIMANN, ROLF
分类号
G01N21/41;G01M11/02;G02B21/00;G02B26/06
主分类号
G01N21/41
代理机构
代理人
主权项
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