| 摘要 |
1. Полая наноигла в интегральном исполнении, содержащая трубку из механически напряженных слоев, связанную с кристаллом-подложкой, отличающаяся тем, что она соединена с кристаллом-подложкой изогнутым пленочным элементом из механически напряженных слоев, обеспечивающим позиционирование трубки относительно кристалла-подложки, и жестко закреплена с кристаллом-подложкой посредством закрепляющего элемента.2. Полая наноигла по п.1, отличающаяся тем, что механически напряженные слои выполнены в виде псевдоморфных монокристаллических пленок веществ, имеющих в свободном состоянии различные периоды кристаллической решетки, или в виде пленок материалов, имеющих различные коэффициенты термического расширения и модули Юнга, или с использованием и первых, и вторых.3. Полая наноигла по п.1, отличающаяся тем, что механически напряженные слои выполнены с использованием пары материалов GaAs и InGaAs, или Si и SiGe, или Au и Ti, или Cr и SiGe, или Cr и Si; либо трех видов материалов Si, SiGe и Cr; либо четырех видов Si, SiGe, Au, Ti или GaAs, InGaAs, Au, Ti.4. Полая наноигла по п.1, отличающаяся тем, что суммарные толщины механически напряженных слоев трубки и механически напряженных слоев изогнутого пленочного элемента равны от 5·10до 10м, при этом конкретное значение толщины механически напряженных слоев трубки задано, исходя из получения требуемого диаметра трубки, а конкретное значение толщины механически напряженных слоев изогнутого пленочного элемента задано, исходя из достижения требуемого позиционирования трубки относительно кристалла-подложки.5. Полая наноигла, по п.1, отличающаяся тем, что закрепляющий элемент выполнен из полимеризованного резиста.6. � |
