摘要 |
Eine erfindungsgemäße Röntgenröhre, insbesondere Mikrofucus-Röntgenröhre 2, weist Mittel 18 zum Richten eines Elektronenstrahles 10 auf ein Target 4 auf. Erfindungsgemäß sind eine Steuerungseinrichtung 20 zur Ansteuerung der Mittel zum Richten des Elektronenstrahles 10 auf das Target 4 derart, daß der Elektronenstrahl 10 das Target 4 abtastet, eine Meßeinrichtung 22 zur Messung der Stromstärke des Targetstromes, der bei Abtastung des Targets 4 mit dem Elektronenstrahl 10 an unterschiedlichen Abtastorten fließt, oder einer hiervon abhängigen Meßgröße sowie eine Auswerteeinrichtung 24 zur Zuordnung des jeweiligen Meßwertes für den Targetstrom zu dem zugehörigen Abtastort vorgesehen. Die erfindungsgemäße Röntgenröhre ermöglicht auf einfache und kostengünstige Weise eine Prüfung des Targets 4 auf Funktionsfähigkeit.
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