| 摘要 |
<p>Positionserkennungssystem zur berührungslosen interferometrischen Detektion der Ortsposition eines Zielobjektes. Eine Zielobjekteinheit (11) schliesst einen Referenzlichtsender (23) ein, der so ausgebildet ist, dass er einen Referenzlichtstrahl (25) mit gekrümmten Lichtwellenfronten (30) aussendet. Die Zielobjekteinheit schliesst mindestens ein Detektorarray (14) mit einer Mehrzahl von Detektorpixeln (31) ein, das so an der Zielobjekteinheit (11) befestigt ist, dass der Referenzlichtstrahl (25) des Referenzlichtsenders (23) darauf auftrifft.</p> |
