一种新型CrAlTi(Y)N薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种新型的CrAlTi(Y)N薄膜及其制备方法。通过采用Al－Y合金靶材，获得了具有生产效率高、优良结合强度的CrAlTi(Y)N薄膜，其含Y合金靶材成分为(按重量份数比)：Al－Y合金靶(0＜Y≤9.5％，其余为Al)，靶材中剩余部分为不可避免的杂质组成；一种新型CrAlTi(Y)N薄膜的制备方法，包括以下步骤：a)进行Al－Y合金靶的配制：采用原料为含Al≥99.9％的纯Al、稀土Y，通过高温熔制备Al－Y合金靶材或粉末冶金制备Al－Y合金靶材，并且使靶材中稀土Y含量满足0＜Y≤9.5％；b)采用磁控溅射制备新型CrAlTi(Y)N薄膜。该薄膜提高了其生产效率和结合强度。

主权项

1.一种新型CrAlTi(Y)N薄膜，其特征在于靶材成分按重量份数比为：Cr靶：含Cr≥99.9％，Ti靶：含Ti≥99.9％，Al-Y合金靶：0＜Y≤9.5％，其余为Al，靶材中剩余部分为不可避免的杂质组成。