处理用过的研磨浆料以回收可重复使用组分的方法和装置

摘要

一种完全回收研磨浆料中的可重复使用组分的方法，其中该浆料为切割硅、石英或陶瓷晶体材料所用的研磨浆料已经用过且富含不合要求的废弃物。本方法由用过的浆料的初级离心机分离操作和串联的旋液分离器或离心机机组中对含有从离心机中得到的磨粒部分进行的湿式尺寸分类处理这样的步骤组成。用于回收和提纯磨粒的部分包括一个在单个压力容器内部执行所有所需操作的多功能装置。本方法能够完全回收包含在用过的浆料中的可重复使用磨粒，以及研磨浆料悬浮液或切削液中的可重复使用磨粒，从而可以在生产过程中再次使用这两种组分。本发明同样涉及一种根据所述方法来执行用过的研磨浆料处理的装置。

主权项

1.一种处理用过的研磨浆料的方法，所述研磨浆料包含悬浮液液体、可重复使用的磨粒、微细磨粒、微细硅颗粒和微细金属颗粒，该方法包括下列步骤：a)用湿式尺寸-分类法将用过的浆料分离成：i)一种悬浮液，它含有在悬浮液液体和液体溶剂的混合物中的可重复使用磨粒，和ii)一种悬浮液，它含有在相同混合物中的微细磨粒、微细硅颗粒和微细金属颗粒；b)用固-液分离处理结合液体溶剂蒸馏，从含有微细磨粒和颗粒的所述悬浮液中回收悬浮液液体；其特征在于，所述湿式尺寸-分类步骤a)是如下实施的：向至少两个串联连接的旋液分离器或两个串联连接的离心机的机组中依此加入得到的含固体的馏份，并错流加入含一部分从回收悬浮液液体步骤b)得到的净化液体的液体馏份，在液-固离心分离机处理所述混合物，从而从机组的最后一个旋液分离器或最后一个离心机的下流体中得到含有可重复使用磨粒的悬浮液，该悬浮液基本不含微细磨粒。