主权项 |
1.一种氢气传感器中的钯-银丝状电极制备方法,是以氧化铝做底片,采用钯和银作为氢敏材料制备而成,步骤如下:●氧化铝陶瓷片的预处理:用王水浸泡清洗后,再用去离子水超声波振荡清洗1分钟,最后在高温炉中500~600℃灼烧30分钟;●甩光胶:陶瓷片先置于真空干燥箱中140℃下干燥脱水30分钟,然后均匀涂上一层光胶;●掩膜制作:计箕机软件设计丝状电极图片,用高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩膜;●光刻:汞灯预热15分钟,调节光刻机能量为12mW/cm2,曝光时间为90秒,曝光后的陶瓷片在0.7%wt的NaOH溶液中显影2分钟,除去曝光部分的光胶,使掩膜上的通道图形转移到光胶层上;●镀膜:在处理好的陶瓷基片上,采用真空溅射和电子束真空蒸发镀膜的方法,分别将金属银和钯沉积在陶瓷基片上构成镀膜层,或直接用电子束真空蒸发的方法同时将钯银沉积到陶瓷基片上;●去除光胶:用丙酮除去金属镀膜底层的光胶,超声波振荡15秒,用去离子水清洗,超声波振荡15秒,最后用吹风机吹干,得到钯-银丝状电极;●将银丝和加工好的陶瓷表面的钯-银丝状电极用导电胶粘结好,在60℃加热板上加热7小时,固化,成为氢气传感器中的钯-银丝状电极。 |