发明名称 |
包括传感器模块的装置 |
摘要 |
通过提供具有两个或更多衬底(4,5)的封装(3),其中每个衬底具有一个功能层(14,15),诸如磁力计和/或加速仪之类的至少一个传感器(24,25)位于至少一个功能层(14,15)中,并通过提供具有包括多个焊点(7-12)的系统的封装(3)来对准功能层(14,15),低成本地制造了一种包括传感器模块(2)的装置(1),该传感器模块具有封装(3)。该系统或者包括第一数量的焊点(7,8)来使功能层(14,15)彼此经由第一键合元件(31)进行电和机械连接,或者该系统包括具有第三功能层(16)的第三衬底(6)和第二数量的焊点(9,10)来使第一和第三功能层(14,16)彼此经由第二键合元件(32)进行电和机械连接,并通过第三数量的焊点(11,12)使第二和第三功能层(15,16)彼此经由第三键合元件(33)进行电和机械连接。机械和/或电的虚焊点能够改进功能层(14,15)的对准。 |
申请公布号 |
CN101218678A |
申请公布日期 |
2008.07.09 |
申请号 |
CN200680024629.3 |
申请日期 |
2006.04.27 |
申请人 |
NXP股份有限公司 |
发明人 |
汉斯·M·B·波依;特尼斯·J·伊金克;尼古拉斯·J·A·范费恩 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01);H01L31/0203(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
朱进桂 |
主权项 |
1.一种装置(1),包括传感器模块(2),所述传感器模块(2)包括封装(3),所述封装(3)包括:具有第一功能层(14)的第一衬底(4);具有第二功能层(15)的第二衬底(5);位于至少一个功能层(14,15)中的至少一个传感器(24,25);以及包括用来对准第一和第二功能层(14,15)的焊点(7-12)的系统。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |