发明名称 | 一种精密空间定位和调整装置 | ||
摘要 | 一种精密空间定位和调整装置,包括圆环平板(1)、圆筒(2)、平板(4)、第一定位销(3)、第二定位销(5)和Rz调整装置(6),其中圆筒(2)安装在圆环平板(1)上,平板(4)固定在圆筒(2)上,第一定位销(3)和第二定位销(5)安装在平板(4)的两个销孔内,Rz调整装置(6)安装在圆环平板(1)上。该装置结构简单,调整快速高效,定位精度高,能节约成本,提高工作效率。 | ||
申请公布号 | CN201084431Y | 申请公布日期 | 2008.07.09 |
申请号 | CN200720075596.7 | 申请日期 | 2007.10.19 |
申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 刘育;袁志扬;张国韦 |
分类号 | G12B5/00(2006.01) | 主分类号 | G12B5/00(2006.01) |
代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
主权项 | 1.一种精密空间定位和调整装置,包括圆环平板(1)、圆筒(2)、平板(4)、第一定位销(3)和第二定位销(5),其特征在于该装置还包括Rz调整装置(6),其中圆筒(2)安装在圆环平板(1)上,平板(4)固定在圆筒(2)上,第一定位销(3)和第二定位销(5)安装在平板(4)的两个销孔内,Rz调整装置(6)安装在圆环平板(1)上。 | ||
地址 | 200000上海市张江高科技园区张东路1525号 |