发明名称
摘要
申请公布号 JP4115243(B2) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 JP20020313685 申请日期 2002.10.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L29/866 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址