REALISATION DE CONDENSATEURS MIM A 3 DIMENSIONS DANS LE DERNIER NIVEAU DE METAL D'UN CIRCUIT INTEGRE

摘要

L'invention concerne le domaine de la microélectronique et en particulier celui des condensateurs MIM (« MIM » pour Métal-Isolant-Métal) à 2 ou 3 dimensions dans les circuits intégrés. Elle prévoit la réalisation d'un circuit intégré formé à partir d'un substrat et comprenant plusieurs niveaux métalliques d'interconnexion dans lequel, dans un même plan parallèle au plan principal du substrat figure une pluralité de lignes métalliques d'interconnexion horizontales épaisses, ainsi qu'un ou plusieurs condensateurs MIM doté d'armatures métalliques orthogonales au plan principal du substrat.