双载子电晶体及其制造方法

摘要

一种双载子电晶体及其制造方法，此种双载子电晶体可包含有一集极区，系形成于一基板中，一外延层，系形成于具有集极区的基板上，一基极区，系形成于外延层中，一射极区，系形成于基极区中，一氧化层，系形成于一沟道之侧壁上，此沟道穿过射极区、基极区、外延层而延伸至集极区中，以及一多晶矽层，系形成于此沟道中。