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发明名称 A METHOD FOR PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号 IL190716(D0) 申请公布日期 2008.11.03
申请号 IL20080190716 申请日期 2008.04.08
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION;LUMIN LI;ZHISONG HUANG;REZA SADJADI 发明人
分类号 H01L;H01L21/311;H01L21/768 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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