投影曝光装置、光学构件及装置制造方法

摘要

一种投影式曝光装置100，藉一投影式光学系统PL将一原片6的图样影像投射到一基质7上。投影式曝光装置100具有一可固持原片6的原片平台5、一可固持基质7的基质平台8、及一测量单元。测量单元具有一包含有一光学单元17及一镜22的斐索干涉仪IF。光学单元17具有一可分裂一光束成为一参考光束及一测试光束的斐索表面。镜22可反射通过投影式光学系统PL的测试光束。光学单元17系安装在原片平台5上。镜22系安装在基质平台8上。