| 摘要 |
本发明系关于包含Ni及La的Al-Ni-La系统之Al基合金溅镀靶，其中，当垂直于溅镀靶平面之横截面中的(1/4)t至(3/4)t(t：厚度)之切面以扫瞄式电子显微镜在放大倍率2000倍下观察时，(1)平均粒径为0.3微米至3微米之Al-Ni系统金属间化合物的总面积相对于整个Al-Ni系统金属间化合物的总面积为70％或更多(以面积分率计)，Al-Ni系统金属间化合物主要包含Al及Ni；且(2)平均粒径为0.2微米至2微米之Al-La系统金属间化合物的总面积相对于整个Al-La系统金属间化合物的总面积为70％或更多(以面积分率计)，Al-La系统金属间化合物主要包含Al及La。 |
