整合原版碟片制造系统之控制方法

摘要

提供一种用以控制一整合原版碟片制造系统中之复数待处理基底的操纵之方法以及一种用以执行本发明之方法的整合原版碟片制造系统。此系统包含：将由基底以预定顺序通过之各个处理站、用以暂时地储存基底之一缓冲器、及用以移动基底于该缓冲器与该处理站之间的一操纵杆。依据本发明，该复数基底之每一个系于每一该处理站中之处理完成时被移动至该缓冲器。