硫酸之电解装置、电解方法及基板之处理装置

摘要

本发明硫酸之电解装置包含有：电解槽，系藉由隔膜分隔形成设置有阴电极之阴极室与设置有阳电极之阳极室者；硫酸槽，系贮存硫酸者；供液管，系连接硫酸槽与阴极室之流入口者；连接管，系连接阴极室之流出口与阳极室之流入口者；第1供给泵，系设置于供液管，且经由供液管将硫酸槽之硫酸供给至阴极室者；及排出管，系与阳极室之流出口连接，并将藉由电解于阳极室所生成之含有氧化性化学物种之溶液供给至贮液槽者。