热处理室中之基板支撑件的温度测量及控制

摘要

本发明提供了一种用于在快速热处理制程中实现均匀加热基板的设备和方法。更具体地，本发明提供一种用于在快速热处理制程中控制支撑基板的边缘环的温度的设备和方法，以改善整个基板上的温度均匀性。