处理气体的回收及再利用之方法及装置

摘要

本发明揭示一种用于处理一含有与其他组成物及杂质加以混合之一可再循环组成物之废气流以生产一含有所有可再循环组成物之高纯度产物之方法及系统。亦生产未含有任何该可再循环组成物的一或多个废弃物流。特定言之，本发明系关于用以制造半导体器件之有价值可再循环组成物之回收。