消除感应耦合电浆反应器中之Ｍ形蚀刻速率分布之方法 METHODS TO ELIMINATE “M-SHAPE”

摘要

本文揭露一种感应耦合电浆处理室，其具有包含一顶壁的腔室。第一天线与第二天线设置在该顶壁的邻接处。该第一天线与该第二天线为同心设置。一电浆功率源耦接至第一天线与第二天线。电浆功率源提供第一射频功率给第一天线且提供第二射频功率给第二天线。基材支撑件设置在该腔室中。第一天线的尺寸以及基材支撑件与顶壁之间的距离经过设置，使得位在基材支撑件上的基材蚀刻速率实质上是均匀的。