| 发明名称 |
Collector configured of mirror shells |
| 摘要 |
There is provided a collector. The collector includes a first mirror shell positioned inside a second mirror shell that has a chamfered end.
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| 申请公布号 |
US7460212(B2) |
申请公布日期 |
2008.12.02 |
| 申请号 |
US20070825078 |
申请日期 |
2007.07.03 |
| 申请人 |
CARL-ZEISS SMT AG |
发明人 |
SINGER WOLFGANG;EGLE WILHELM;WEISS MARKUS;HAINZ JOACHIM;WIETZORREK JOCHEN;MELZER FRANK;WANGLER JOHANNES |
| 分类号 |
G02B5/10;G21K1/06;G02B5/09;G02B17/06;G02B19/00;G03F1/16;G03F7/20;G21K5/00;G21K5/02;G21K5/04;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B5/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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