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发明名称 Group III nitride crystal, method of its manufacturing, and equipment for manufacturing group III nitride crystal
摘要
申请公布号 EP1538241(B1) 申请公布日期 2008.12.17
申请号 EP20040023416 申请日期 2004.10.01
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 HIROTA, RYU;NAKAHATA, SEIJI
分类号 C30B9/00;C30B29/38;C30B9/12;C30B17/00;C30B29/40 主分类号 C30B9/00
代理机构 代理人
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