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发明名称 Measurement setup with improved sensor lifetime, in particular for measuring EUV energy
摘要
申请公布号 EP1734408(B1) 申请公布日期 2008.12.17
申请号 EP20060115073 申请日期 2006.06.07
申请人 PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 JONKERS, JEROEN;VAUDREVANGE, DOMINIK
分类号 G03F7/20;G01J1/42;G21K1/06 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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