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发明名称
Electron microscopy system and electron microscopy method
摘要
申请公布号
EP1389795(B1)
申请公布日期
2008.12.17
申请号
EP20030018125
申请日期
2003.08.08
申请人
CARL ZEISS NTS GMBH
发明人
KNIPPELMEYER, RAINER
分类号
H01J37/26;H01J37/29;H01J37/05;H01J37/147;H01J37/244;H01J37/28
主分类号
H01J37/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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