抛光垫

摘要

本发明所涉及的抛光垫含有一种不溶于水的基质材料，该材料含有交联聚合物如交联的1，2-聚丁二烯，和分散在该不溶于水的基质材料中的水溶性粒子如糖类。水溶性粒子在水中的溶解度在25℃时为0.1-10重量％，当抛光垫浸入水中时水溶性粒子从该垫中洗脱出的量在25℃时为0.05-50重量％。另外，在本发明所涉及的抛光垫中，水溶性粒子在水中的溶解度在25℃、pH值为3到11时为0.1-10重量％，并且在25℃，pH值为3-11时的溶解度为在25℃、pH为7条件下该粒子在水中溶解度的±50％以内。另外，这些水溶性粒子含有氨基、环氧基、异氰脲酸酯基等基团。即使是使用pH不同的浆液，该抛光垫具有良好的浆液保留能力，同时也具有极好的抛光性能如抛光率和平整度。

主权项

1.一种抛光垫，包括：一种不溶于水的基质材料，该基质材料含有交联聚合物，和分散在该不溶于水的基质材料中的水溶性粒子，其中所述水溶性粒子具有外壳，该外壳是通过偶联剂在水溶性粒子的最外部的至少一部分上形成的，所述偶联剂含有氨基、环氧基和异氰脲酸酯基的至少一种基团，水溶性粒子在水中的溶解度在25℃时为0.1-10重量％，当抛光垫浸入水中时，水溶性粒子从该垫中洗脱出的量在25℃时为0.05-50重量％。