发明名称 METHOD OF SEMICONDUCTOR FABRICATION IN CORPORATING DISPOSABLE SPACER INTO ELEVATED SOURCE/DRAIN PROCESSING
摘要
申请公布号 EP1756860(A4) 申请公布日期 2008.12.17
申请号 EP20050735763 申请日期 2005.04.13
申请人 FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC. 发明人 CHEN, JIAN;MORA, RODE R.;ROSSOW, MARC A.;SHIHO, YASUHITO
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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