发明名称 温度控制设备
摘要
申请公布号 CN300861365D 申请公布日期 2008.12.17
申请号 CN200730083038.0 申请日期 2007.11.21
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 赵 辉
分类号 10-05 主分类号 10-05
代理机构 上海思微知识产权代理事务所 代理人 屈 蘅;李时云
主权项
地址 201203上海市张江高科技园区张东路1525号