飞秒激光微球打孔方法和装置

摘要

本发明涉及一种飞秒激光在微球上精密打孔方法和装置。本方法是利用飞秒激光，用中性滤色片连续调节激光能量，用显微物镜将激光聚焦到微球上，用快门控制飞秒激光个数，用三维精密平台调整微球三维位置，从而实现在不同材料的微球上加工1～100微米的圆孔。本装置是飞秒激光器系统产生的飞秒激光依次经两个反射镜、准直透镜、光阑、准直透镜、中性滤色片、计算机控制的快门、双色反射镜和显微物镜后，聚焦到搁置在计算机控制的三维精密平台上的微球。加工微球上的圆孔，偏差小于5％。

主权项

1、一种飞秒激光在微球上精密打孔方法，包括利用飞秒激光系统产生飞秒激光，从激光器再生放大器中发出激光的光强分布为高斯分布的线偏振光，其特征在于：a.利用中性滤色片连续调节激光能量；b.利用显微物镜将激光聚焦到待加工微球表面；c.用快门控制飞秒激光个数；d.控制搁置待加工微球的三维精密平台沿X/Y/Z三个方向移动，从而实现在微球上加工孔径为1微米到100微米的圆孔。