具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器

摘要

本发明提出一种测量仪器技术领域的具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器，由定栅和动栅两个部分构成，在传感器动栅上至少有一个码道上的每一组传感器线圈是以串联的方式连接在一起，相邻线圈之间沿测量轴方向的距离是均匀的，每个线圈相对于定栅上敏感导体的位置是一致的，这些线圈同时参与工作，等效于一个线圈。同时，分别采用窄线圈方式或者交错线圈方式，将两组线圈的距离拉近到1/4波长，可以进一步提高测量精度。此外，采用一种三码道绝对定位方案，精码道实现位移小数精确测量，中码道实现中等精度定位，粗码道实现粗定位，并分别通过对称布局型式和双线圈方案，提高绝对定位精度，并降低工艺要求和制造成本。

主权项

1、一种具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器，由定栅和动栅两个部分构成，在定栅上沿着测量轴方向布置至少两个码道，每个码道上布置一系列具有一定规则形状、按测量轴均匀排列的金属敏感导体，在动栅上布置与定栅数量相同的码道，每个码道上布置数个传感器线圈，其特征在于：在传感器动栅上至少有一个码道上的每一组传感器线圈是以串联的方式连接在一起，相邻线圈之间沿测量轴方向的距离是均匀的，每个线圈相对于定栅上敏感导体的位置是一致的，这些线圈同时参与工作，等效于一个线圈。