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发明名称 METHODS FOR ETCHING A BOTTOM ANTI-REFLECTIVE COATING LAYER IN DUAL DAMASCENE APPLICATION
摘要
申请公布号 EP2001814(A2) 申请公布日期 2008.12.17
申请号 EP20070758490 申请日期 2007.03.14
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 XIAO, YING;DELGADINO, GERARDO A.;SCHNEIDER, KARSTEN
分类号 C03C25/68;H01L21/461 主分类号 C03C25/68
代理机构 代理人
主权项
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