发明名称 ORGANIC BARC ETCH PROCESS CAPABLE OF USE IN THE FORMATION OF LOW K DUAL DAMASCENE INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP2002467(A2) 申请公布日期 2008.12.17
申请号 EP20070753620 申请日期 2007.03.20
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SCHNEIDER, JENS KARSTEN;XIAO, YING;DELGADINO, GARARDO
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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