Method for manufacturing a layer with a predefined layer thickness profile,申请号EP20070008531-传众专利搜索

发明名称	Method for manufacturing a layer with a predefined layer thickness profile
摘要
申请公布号	EP1816233(B1)	申请公布日期	2008.12.17
申请号	EP20070008531	申请日期	2001.05.22
申请人	INFINEON TECHNOLOGIES AG	发明人	AIGNER, ROBERT;MARKSTEINER, STEPHAN;NESSLER, WINFRIED;ELBRECHT, LUEDER;TIMME, HANS-JOERG
分类号	C23C14/58;H01L41/22;C23C16/56;H01C17/24;H01L41/09;H01L41/187;H03H3/04	主分类号	C23C14/58
代理机构		代理人
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