发明名称 一种多晶硅定向长晶热场结构
摘要 一种多晶硅定向长晶热场结构,属太阳能多晶硅晶体的定向生长热场结构技术领域,主要由保温隔热笼体(1),置于保温隔热笼体(1)内的加热器(6)和热交换台(5),置于保温隔热笼体(1)底部可上下垂直运动的带支撑导杆(4)的保温隔热底板(2),置于保温隔热笼体(1)的侧面与热交换台(5)之间的保温隔热隔板(7)等构成;保温隔热笼体(1)和保温隔热底板(2)形成一个腔室(3),加热器(6)和保温隔热底板(2)分别由外设的控制器(8)控制。通过保温隔热笼体底部保温隔热底板的升降式结构设置,来获得多晶硅定向长晶所需要的工艺手段,在控制上更容易实现动态调整,从而最大化实现长晶速度。
申请公布号 CN101323973A 申请公布日期 2008.12.17
申请号 CN200810063024.6 申请日期 2008.07.04
申请人 绍兴县精工机电研究所有限公司 发明人 赵波;徐芳华;孙海梁
分类号 C30B28/06(2006.01);C30B29/06(2006.01) 主分类号 C30B28/06(2006.01)
代理机构 浙江翔隆专利事务所 代理人 戴晓翔
主权项 1、一种多晶硅定向长晶热场结构,包括保温隔热笼体(1),置于保温隔热笼体(1)内的加热器(6)和热交换台(5),其特征在于保温隔热笼体(1)的底部还设有可上下垂直运动的保温隔热底板(2),保温隔热笼体(1)和保温隔热底板(2)形成一个腔室(3)。
地址 312030浙江省绍兴县柯桥街道柯西工业园区鉴湖路1809号