发明名称 |
一种多晶硅定向长晶热场结构 |
摘要 |
一种多晶硅定向长晶热场结构,属太阳能多晶硅晶体的定向生长热场结构技术领域,主要由保温隔热笼体(1),置于保温隔热笼体(1)内的加热器(6)和热交换台(5),置于保温隔热笼体(1)底部可上下垂直运动的带支撑导杆(4)的保温隔热底板(2),置于保温隔热笼体(1)的侧面与热交换台(5)之间的保温隔热隔板(7)等构成;保温隔热笼体(1)和保温隔热底板(2)形成一个腔室(3),加热器(6)和保温隔热底板(2)分别由外设的控制器(8)控制。通过保温隔热笼体底部保温隔热底板的升降式结构设置,来获得多晶硅定向长晶所需要的工艺手段,在控制上更容易实现动态调整,从而最大化实现长晶速度。 |
申请公布号 |
CN101323973A |
申请公布日期 |
2008.12.17 |
申请号 |
CN200810063024.6 |
申请日期 |
2008.07.04 |
申请人 |
绍兴县精工机电研究所有限公司 |
发明人 |
赵波;徐芳华;孙海梁 |
分类号 |
C30B28/06(2006.01);C30B29/06(2006.01) |
主分类号 |
C30B28/06(2006.01) |
代理机构 |
浙江翔隆专利事务所 |
代理人 |
戴晓翔 |
主权项 |
1、一种多晶硅定向长晶热场结构,包括保温隔热笼体(1),置于保温隔热笼体(1)内的加热器(6)和热交换台(5),其特征在于保温隔热笼体(1)的底部还设有可上下垂直运动的保温隔热底板(2),保温隔热笼体(1)和保温隔热底板(2)形成一个腔室(3)。 |
地址 |
312030浙江省绍兴县柯桥街道柯西工业园区鉴湖路1809号 |