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发明名称 Methods of forming recessed access devices
摘要
申请公布号 EP2001054(A3) 申请公布日期 2008.12.17
申请号 EP20080016346 申请日期 2006.03.08
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 PAREKH, KUNAL R.;MATHEW, SURAJ;TRIVEDI, JIGISH D.;ZAHURAK, JOHN K.;TANG, SANH D.
分类号 H01L27/108;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
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