附着物去除装置及附着物去除方法

摘要

本发明之附着物去除装置，其系具备配置有喷射高压水之喷嘴之喷头、安装有该喷头之高压水喷射装置、以对向于上述喷嘴之方式载置被处理物之载物台，并藉由上述高压水去除堆积于上述被处理物上之附着物的附着物去除装置，且，上述高压水喷射装置可沿着与上述载物台表面平行之第1方向相对上述载物台进行相对移动，而上述喷头可沿着与上述载物台之表面平行且与上述第1方向交叉之第2方向呈直线状振动。