垂直型热处理装置及使用该垂直型热处理装置之热处理方法

摘要

本发明揭示一种垂直型热处理装置，其包含：一热处理炉，其具有一炉开口；一盖子构件，其系用于关闭该热处理炉之炉开口；一第一基板支架与一第二基板支架，各基板支架能够以一层状方式保持复数个基板并经由一储热管来交替地放置于该盖子构件上；一升降机构，其垂直移动该盖子构件以将该等基板支架之一载入于该热处理炉内以及从该热处理炉载出该等基板支架之一；一支架机台，其系用来传送该等基板而经组态为在该等基板支架之该一者在该热处理炉内时在其上放置该等基板支架之另一者；及一支架搬运机构，其系经组态为在该支架机台与该储热管之间搬运该等个别基板支架；其中该支架机台具有一用于抓持该基板支架以防止其倾翻之支架抓持机构。