形状测量装置、曝光装置以及电脑

摘要

一种测量测量标的表面的形状之形状测量设备，包括干涉仪及电脑。当改变测量光或参考光的光程长度时，干涉仪藉由光电转换器感测来自该测量标的表面的测量光与参考光所形成的干涉光。电脑将光电转换器感测的第一干涉讯号作傅立叶转换以取得相位分布和振幅分布、将振幅分布整型、将相位分布及经过整型的振幅分布作反傅立叶转换以取得第二干涉讯号、以及根据第二干涉讯号来决定测量标的表面的形状。