一种支撑装置、基板传送设备与其方法

摘要

一种支撑装置，包含用以支撑基板之支撑架本体以及用以支撑基板边角之辅助架，使得基板得以实质上水平地置放于支撑装置上。另揭示一基板传送设备，包含此支撑装置与可移动的凸出件。此基板传送设备能避免可移动的凸出件在往复移动时与基板之边角发生碰撞。