发明名称 | 具有系统自动判断卡关的机台移入确认作业流程 | ||
摘要 | 本发明系关于一种具有系统自动判断卡关的机台移入确认作业流程,可经由系统依开发出来的逻辑,自动运算上货顺序,于进站时作顺序的比对,确保上货批次(Batch)顺序无误。上货时,再结合现行既有的确认机制,使操作者能确实依照进站顺序上货,载入材料的晶舟位置正确。而上述移入确认作业流程,可在系统纪录上一个执行晶舟量测参数值后,自动判定材料的可执行晶舟位置,再依开发的逻辑运算出上货顺序。 | ||
申请公布号 | TW200849320 | 申请公布日期 | 2008.12.16 |
申请号 | TW096120962 | 申请日期 | 2007.06.11 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 康健廷 |
分类号 | H01L21/00(2006.01);G06Q10/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |